著者

橋本 嵩広 町田 雅武

出版者

公益社団法人 応用物理学会

雑誌

応用物理 (ISSN:03698009)

巻号頁・発行日

vol.91, no.9, pp.568-572, 2022-09-01 (Released:2022-09-01)

参考文献数

8

---

光電子分光法は物質の電子状態を直接観測する実験手法です.特に,硬X線光電子分光法(Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy: HAXPES)を用いると,電子デバイスの内部を非破壊で化学結合状態の分析ができます.近年,光源や光電子分析器の開発の進展により,実験室でのHAXPES測定が可能になりました.本稿では,光電子分光法の基礎原理に加えて,Ga線源を用いた実験室系HAXPES装置を用いた深さ分解測定や,データサイエンスを用いた深さ分布の解析手法について紹介します.

著者

町田 雅武

出版者

公益社団法人 日本表面科学会

雑誌

表面科学学術講演会要旨集

巻号頁・発行日

vol.36, 2016

---

光電子分光技術は、直接的に物質の化学状態を観測できる分析手法として広く利用されている。通常、光電子分光では超高(~高)真空下で測定する必要があった。しかしながら、高真空下の電子状態ではなく実際の動作環境下での電子状態を観測したいというニーズの急激な高まりと共に、それに対応した光電子分光装置も開発されている。本講演では放射光施設や実験室に導入された雰囲気光電子分光測定の最新の結果を紹介する。