2 0 0 0 OA レーザ照射スパッタ多結晶シリコン薄膜トランジスタ
- 著者
- 芹川 正 白井 誠一
- 出版者
- The Institute of Electrical Engineers of Japan
- 雑誌
- 電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌) (ISSN:03854205)
- 巻号頁・発行日
- vol.110, no.10, pp.675-678, 1990-10-20 (Released:2008-07-15)
- 参考文献数
- 10
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レーザ照射スパッタ多結晶シリコン薄膜トランジスタ
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スパッタリング＝一次イオンビームにより発生する二次イオンビームで成膜するプロセスでレーザー照射すれば多結晶シリコンと言う論文は1990年に既にあった。
【ギガ一次イオンビーム】で高速成膜？はありそう https://t.co/RPCP5CXd3d