著者
大塚 二郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.77, no.7, pp.656-659, 2011-07-05 (Released:2012-01-05)
参考文献数
13
被引用文献数
5

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[電子工作][研究] 精密・超精密位置決め技術の基礎 - J-Stage

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精密・超精密位置決め技術の基礎 静岡理工科大 大塚二郎 https://t.co/epUqCtWBsB https://t.co/FdPLHYztA5
Super coooooooooooooooooool!!!!!!
マジで面白い。精度の話↓ 半導体縮小露光装置 超精密位置決め装置のチャンピオンは図 911)の半導体縮 小露光装置です.図 1(b)とは異なる方式のステージは 加減速度 3∼5 g,最高速度1m/s 以上にもなり位置決め 精度は 1 nm 前後(ばらつき誤差) https://t.co/rQlqHkADLT

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