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OA
LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用
著者
會田 英雄
青田 奈津子
木村 豊
川又 友喜
小山 浩司
山崎 努
土肥 俊郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌
(
ISSN:09120289
)
巻号頁・発行日
vol.78, no.11, pp.932-936, 2012-11-05 (Released:2013-05-05)
参考文献数
7
言及状況
変動(ピーク前後)
変動(月別)
分布
外部データベース (DOI)
3
Altmetric.com
1
Mendeley
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(1 pages, 1 posts, 1 contributors)
編集者:
Ika8102
2020-02-27 14:51:56
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