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文献詳細
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OA
シンクロトロン放射光とX線リソグラフィ
著者
鳳 紘一郎
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密機械
(
ISSN:03743543
)
巻号頁・発行日
vol.50, no.11, pp.1741-1746, 1984-11-05 (Released:2009-06-30)
参考文献数
14
言及状況
変動(ピーク前後)
変動(月別)
分布
外部データベース (DOI)
DOI Chronograph
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「X線光学系は反射になり、反射は精度が2倍必要になるのでただでさえ難しいのだ」セリートに行った同級生が言ってました。 X線リソグラフィーを産総研の鳳先生が書いてます。 https://t.co/sXJyxc5xoz 電気回路の鳳テブナンの定理のお孫さんです。 https://t.co/dJ0svUPB6c 与謝野晶子の実兄(@@;
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