著者

湯本 博勝 松山 智至 三村 秀和 山内 和人 大橋 治彦

出版者

公益社団法人 精密工学会

雑誌

精密工学会学術講演会講演論文集 2012年度精密工学会秋季大会

巻号頁・発行日

pp.405-406, 2012-09-01 (Released:2013-03-01)

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放射光X線ミラー用の表面形状計測装置として利用しているフィゾー型干渉計の参照面を絶対形状評価することを目的とし,三面合わせ法による校正を行った.温度環境を年間通じて±0.05℃に安定させた結果,参照面形状が相対湿度に応じて変形する現象を観察した.本効果を考慮した三面合わせ法を実施することで,145mm以上の長さに対して,PV1.5nmの確からしさで校正を行うことに成功した.