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1 0 0 0 低圧ロングスロースパッタリングを用いた新Cu成膜プロセスの展開

著者
高桑 一雄
出版者
The Surface Finishing Society of Japan
雑誌
表面技術 = The Journal of the Surface Finishing Society of Japan (ISSN:09151869)
巻号頁・発行日
vol.49, no.11, pp.1185-1191, 1998-11-01

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