著者

小藪 国夫 渡辺 純二

出版者

公益社団法人精密工学会

雑誌

精密工学会誌 (ISSN:09120289)

巻号頁・発行日

vol.55, no.12, pp.2241-2246, 1989-12-05

被引用文献数

4 2

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Nd : YAGレーザとKOH液を用いたLAEによるセラミックスの微細形状加工技術としての実用化促進をねらい, LAEの特徴を発揮した三つの微細形状加工の形態について検討し, 次の結果からLAEが実用レベルに達したことを確認した.<BR>(1) 高品質の形状で寸法30×90×1000μmの微小片持ちはりを打抜き加工で形成した.<BR>(2) 異種材料を積層した基板に, 各層ごとの打抜きを行うことにより, 立体微細形状を形成した.<BR>(3) マスクを用いた微細形状加工では, 加工条件と転写パタン寸法との関係を明らかにし, 多数の微細パタンを能率良く形成した.