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2 0 0 0 29a-WB-6 Si(001)ホモエピタクシャル成長機構のシミュレーションによる解析

著者
川村 隆明 Wilby R.M
出版者
一般社団法人日本物理学会
雑誌
日本物理学会講演概要集. 年会
巻号頁・発行日
vol.49, no.2, 1994-03-16

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