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1 0 0 0 エアカップル超音波による材料表面の非接触トポグラフィー(<特集>最新の超音波計測技術)

著者
井原 郁夫 スクマナ デデン ディアン
出版者
公益社団法人精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.74, no.7, pp.691-695, 2008-07-05
参考文献数
15
被引用文献数
1

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