【3次元マイクロコイル・メタマテリアル・テラヘルツ ・異方性・透明マント (3D Micro coil, Meta material, Tera herz・Anisotropy・Transparent cloak)】 集積回路(IC・LSI)に『(第7弾)断面が円形のソレノイドコイルを作る方法』として 【グレースケール露光を用いて３次元的な構造を作成する方法 (コイルの材料は金属・非 ...