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1 0 0 0 DLC薄膜のトライボロジー(<特集>ナノ・マイクロトライボロジー)

著者
中森 秀樹 平塚 傑工 ボロレ グウェン
出版者
公益社団法人精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.71, no.9, pp.1090-1093, 2005-09-05
被引用文献数
1 1