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1 0 0 0 CNT成長構造に及ぼす触媒堆積時及びCVD炉内残存大気の効果

著者
沢田 侑斗 亀岡 伸義 神生 龍一 古田 寛
雑誌
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2023-01-24