著者
塩入 哲 本間 三孝
出版者
The Vacuum Society of Japan
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.43, no.1, pp.18-23, 2000-01-20 (Released:2009-10-20)
参考文献数
19
被引用文献数
1 1