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1 0 0 0 OA 薄膜磁気ヘッドにおける微細加工技術

著者
篠浦 治 小柳 勤
出版者
The Surface Finishing Society of Japan
雑誌
表面技術 (ISSN:09151869)
巻号頁・発行日
vol.46, no.9, pp.798-803, 1995-09-01 (Released:2009-10-30)
参考文献数
30