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1 0 0 0 OA スパッタリング法による反射防止膜の形成

著者
川俣 健
出版者
The Vacuum Society of Japan
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.43, no.8, pp.773-778, 2000-08-20 (Released:2009-10-20)
参考文献数
12
被引用文献数
1 1