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2 0 0 0 大口径ベアウェーハーの平坦化研磨技術(<特集>半導体デバイスの平坦化技術)

著者
新井 初雪
出版者
公益社団法人精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.73, no.7, pp.756-759, 2007-07-05
被引用文献数
3 3