文献一覧: 服部秀三 (著者) - Ceek.jp Altmetrics

1 0 0 0 4そう回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置

著者: 内田悦行蟹江徹雄佐合祐稔堀勝服部秀三松井圭司大塚寿次永松洋介
出版者: The Vacuum Society of Japan
雑誌: 真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日: vol.29, no.5, pp.424-428, 1986

2017-11-10 10:45:09
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1 0 0 0 気体レーザー(V) : 量子エレクトロニクス

著者: 服部秀三西脇彰山中暎夫神谷明宏
出版者: 一般社団法人日本物理学会
雑誌: 日本物理学会年会講演予稿集
巻号頁・発行日: vol.20, no.3, 1965-10-10

2009-09-18 13:19:12
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https://ci.nii.ac.jp/naid/110002261326