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1 0 0 0 Hot-wire CVD法による厚膜SiNを用いた低損失リング共振器作製

著者
(M2)半田 浩一朗 曽田 昇汰 古澤 健太郎 青木 画奈 関根 徳彦 柳澤 亮人 石田 悟己 野村 政宏 岩本 敏 田邉 孝純
雑誌
2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2021-01-26