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2 0 0 0 AI技術を活用した6インチSiCバルク結晶の溶液成長

著者
宇治原 徹 朱 燦 角岡 洋介 鈴木 皓己 郁 万成 劉 欣博 黨 一帆 古庄 智明 沓掛 健太朗 原田 俊太 田川 美穂 阿部 舞 田中 謙弥
雑誌
2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
巻号頁・発行日
2021-07-06