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1 0 0 0 窒素直流アークにおいて添加酸化物種が陰極消耗現象に及ぼす影響

著者
(D)竹本 裕貴 田中 学 渡辺 隆行
雑誌
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
巻号頁・発行日
2023-01-24