1 0 0 0 OA ヘリセンによるナノスプリング・ナノコイルの創製と新機能の発現
- 著者
- 大須賀秀次
- 出版者
- 日産科学振興財団
- 雑誌
- 日産科学振興財団研究報告書
- 巻号頁・発行日
- vol.平成15年度修了者,
言及状況
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[Microspring/Nanospring/Microcoil/Nanocoil/MEMS)
【マイクロスプリング・ナノスプリング・マイクロコイル・ナノコイル・マイクロマシン】
"Method of making a three-dimensional structure using grayscale exposure" as "a method of making a (10th) so ...