シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法 - 文献詳細 - Ceek.jp Altmetrics

1 0 0 0 OA シリコン結晶への界面ナノ構造を利用した不純物ドーピング法

著者: 村田晃一
巻号頁・発行日: 2013

筑波大学博士 (工学) 学位論文・平成25年3月25日授与 (甲第6420号)

2013-09-06 08:33:08
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http://hdl.handle.net/2241/119655

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