STUDIES ON LOW-ENERGY, MASS-SEPARATED ION BEAM DEPOSITION AND REACTIVE ION BEAM ETCHING - 文献詳細 - Ceek.jp Altmetrics

1 0 0 0 OA STUDIES ON LOW-ENERGY, MASS-SEPARATED ION BEAM DEPOSITION AND REACTIVE ION BEAM ETCHING

著者: Miyake Kiyoshi
出版者: Kyoto University
巻号頁・発行日: 1982-03-23

新制・論文博士

2012-12-03 01:09:36
1 Google+

言及状況

外部データベース (DOI)

Google Scholar

Google+ (1 users, 1 posts)

イオンのエネルギーが 1 keV 以上では物理エッチング、それ以下では化学エッチングになると言う計算結果の上での結論が興味深い。

収集済み URL リスト

http://repository.kulib.kyoto-u.ac.jp/dspace/bitstream/2433/162157/1/ykogr01452.pdf (1)