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1 0 0 0 環境半導体・鉄シリサイドの作製 (ポスターセッション特集(1))

著者
大橋 健也 前田 佳均 三宅 潔
出版者
日本ファインセラミックス協会
雑誌
Fine ceramics report (ISSN:09115269)
巻号頁・発行日
vol.17, no.7, pp.163-165, 1999-07