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1 0 0 0 微細CMOSの特性ばらつき問題を解決するドーパントレスFDSOI : SOTB

著者
杉井 信之 土屋 龍太 石垣 隆士 森田 祐介 吉元 広行 木村 紳一郎
出版者
電気化学会電子材料委員会
雑誌
半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集
巻号頁・発行日
vol.74, pp.57-60, 2010-07-08
参考文献数
32