1 0 0 0 OA 極微細パターン形成のための超臨界乾燥法
- 著者
- 生津 英夫
- 出版者
- 一般社団法人 表面技術協会
- 雑誌
- 表面技術 (ISSN:09151869)
- 巻号頁・発行日
- vol.56, no.2, pp.92, 2005 (Released:2005-10-19)
- 参考文献数
- 8
- 被引用文献数
- 1
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極微細パターン形成のための超臨界乾燥法-NTT物性科学基礎研究所
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