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半導体製造に用いられる超純水と機能水の最新動向
今後も半導体の需要増や微細‧多層化により、⼀層の⽔質の⾼度化や⽔量増が⾒込まれる様ですが、量も大事ですが排水の再利用も含む質が大事な様ですね
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