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1 0 0 0 高周波プラズマでフロンを分解する

著者
梶家 治
出版者
一般社団法人 電気学会
雑誌
電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan (ISSN:13405551)
巻号頁・発行日
vol.114, no.11, pp.719-722, 1994-11-20
参考文献数
3
被引用文献数
3

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編集者: X-enon147

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