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1 0 0 0 21pXA-11 p 型 Si 基板上 SiGe 膜の電気的特性に対する水素処理の影響

著者
山下 善文 宮迫 毅明 石山 武 上浦 洋一
出版者
一般社団法人日本物理学会
雑誌
日本物理学会講演概要集 (ISSN:13428349)
巻号頁・発行日
vol.58, no.2, 2003-08-15

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