著者

松田将大 久代紀之 高原邦夫

雑誌

第76回全国大会講演論文集

巻号頁・発行日

vol.2014, no.1, pp.579-580, 2014-03-11

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本稿では真空ポンプの音響診断手法について説明する。 半導体製造装置に搭載される真空ポンプは、稼働率向上のために常時運転している。部品摩耗による故障のリスクを防ぐため、現在は定期メンテナンスを行っている。しかし、メンテナンス間隔は経験によって決定されたものであり、機器個体差の無視などの問題がある。 上記問題に対し、機器特徴に則した故障診断手法を開発することで、メンテナンスの最適化を行う。その際、診断材料として動作音に着目する。これは実フィールドにおいて音が診断指標として使われていることに起因する。 実験室・実フィールドでの動作音を解析した結果、二つの故障の特徴を発見した。結果を元に故障進行のモデル化を行い、簡易な精度検証を行った。