機能水を用いたシリコン基板の新しい洗浄技術に関する研究 - 文献詳細 - Ceek.jp Altmetrics

1 0 0 0 IR 機能水を用いたシリコン基板の新しい洗浄技術に関する研究

著者: 森田博志
出版者: 東北大学
巻号頁・発行日: 2000

課程

2017-12-18 17:37:04
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@22Ilias22 一応そっちは https://t.co/UZqURExn0G https://t.co/LsZWrfIHyZ 辺りで。書きぶりからすると化学反応より超音波洗浄時の物理反応な気がするんだけど。

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https://ci.nii.ac.jp/naid/500000198846 (1)