1 0 0 0 ULSI technology
- 著者
- edited by C.Y. Chang S.M. Sze
- 出版者
- McGraw-Hill
- 巻号頁・発行日
- 1996
言及状況
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@k_yamagami 薄膜を加工してシリコン集積回路にする話題であればこの辺りが参考になると思うのですが、シリコン以外が手薄です（それはそう）。（シリコン）半導体デバイス系の人と議論する場があれば役に立つかもです。
ULSI technology
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