Nondestructive depth distribution measurements of carrier lifetime in 4H-SiC thick epitaxial layers with high spatial resolution

著者: Takashi Hirayama Keisuke Nagaya Akira Miyasaka Kazutoshi Kojima Tomohisa Kato Hajime Okumura Masashi Kato
出版者: ICSCRM2019 Organizing Committee
雑誌: International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2019 (ICSCRM2019)
巻号頁・発行日: 2019-09-03

ICSCRM2019のプログラムが更新され、レイトニュースペーパーが追加されました。そのうち1件は我々の非破壊キャリアライフタイム測定のポスタープレゼンテーションです　https://t.co/WuSmwZZnqC