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1 0 0 0 25aXR-5 Si中にイオン打ち込みしたKr原子の自己結晶化(25aXR 格子欠陥・ナノ構造,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性分野))

著者
安西 優 中西 伸登 山崎 貴司 渡辺 和人 橋本 巌
出版者
一般社団法人日本物理学会
雑誌
日本物理学会講演概要集 (ISSN:13428349)
巻号頁・発行日
vol.57, no.1, 2002-03-01