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1 0 0 0 OA シリコンウェーハ中炭素関連結晶欠陥のパワーデバイス特性への影響

著者
佐々木 駿 三次 伯知 佐俣 秀一 附田 正則 大村 一郎
出版者
公益社団法人 応用物理学会
雑誌
応用物理学会学術講演会講演予稿集 第68回応用物理学会春季学術講演会 (ISSN:24367613)
巻号頁・発行日
pp.2704, 2021-02-26 (Released:2022-06-19)