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2 0 0 0 A-11-4 アモルファスTa_2O_5薄膜のSAW伝搬特性に対するロングスロースパッタ成膜の効果(A-11.超音波,一般セッション)

著者
垣尾 省司 保坂 桂子
出版者
一般社団法人電子情報通信学会
雑誌
電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.2012, 2012-08-28