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1 0 0 0 OA 位置測定におけるPSDの応用

著者
倉沢 一男
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密機械 (ISSN:03743543)
巻号頁・発行日
vol.51, no.4, pp.730-737, 1985-04-05 (Released:2010-02-16)
参考文献数
7
被引用文献数
1 1