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1 0 0 0 25pB16p 磁場中混合プラズマからの基板入射イオンに及ぼす電極近傍回転電場の効果(ヘリカル/プラズマ応用)

著者
出頭 学 中森 秀隆 佐藤 直幸 田辺 利夫 池畑 隆 真瀬 寛
出版者
社団法人プラズマ・核融合学会
雑誌
プラズマ・核融合学会年会予稿集
巻号頁・発行日
no.16, 1999-11-20