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1 0 0 0 OA スパッタイオンプレーティングによるTiAlN皮膜の作製と応用

著者
服部 幸司 前原 博志
出版者
The Surface Finishing Society of Japan
雑誌
表面技術 (ISSN:09151869)
巻号頁・発行日
vol.41, no.5, pp.490-494, 1990-05-01 (Released:2009-10-30)
参考文献数
4