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13 0 0 0 OA 日本オリジナルの真空封止アンジュレータ

著者
北村 英男
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.75, no.12, pp.1383-1386, 2009-12-05 (Released:2011-02-07)
参考文献数
11