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1 0 0 0 OA 電子線照射装置の工業利用への展開

著者
奥村 康之
出版者
一般社団法人 日本真空学会
雑誌
Journal of the Vacuum Society of Japan (ISSN:18822398)
巻号頁・発行日
vol.60, no.2, pp.64-67, 2017 (Released:2017-02-17)
参考文献数
12
被引用文献数
1 3