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2 0 0 0 OA 超音波振動援用ダイシングソーの開発と電子デバイス部品加工への応用

著者
邱 暁明 熊谷 壮祐 田篠 文照 小澤 成俊
出版者
公益社団法人 精密工学会
雑誌
精密工学会誌 (ISSN:09120289)
巻号頁・発行日
vol.76, no.6, pp.606-609, 2010-06-05 (Released:2010-12-05)
参考文献数
2