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1 0 0 0 C-11-2 Si製インジェクションエミッタを用いた半導体デバイス用イオナイザの除電特性

著者
今園 浩之 佐藤 友成 岡野 一雄
出版者
一般社団法人電子情報通信学会
雑誌
電子情報通信学会総合大会講演論文集
巻号頁・発行日
vol.1999, no.2, 1999-03-08