著者

掛川 賢 相田 真里 沖野 晃俊

出版者

一般社団法人 電気学会

雑誌

電気学会誌 (ISSN:13405551)

巻号頁・発行日

vol.135, no.4, pp.226-229, 2015 (Released:2015-04-01)

参考文献数

7

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1.はじめに ここ10年ほど,低温の大気圧プラズマを用いた表面処理や殺菌などの研究がさかんに行われているが(1),分析化学の分野では大気圧プラズマは40年以上前からごく一般的に使用されてきた古典的な技術である(2)。現在,大気圧プラズマを用いた数多くの分析装置が市販されて使用され