著者
仲村 亮正 文 相喆 藤嶋 昭
出版者
一般社団法人 日本真空学会
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.49, no.4, pp.232-237, 2006 (Released:2007-04-12)
参考文献数
28
被引用文献数
1 1