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1 0 0 0 OA 低気圧SF6RF放電の周波数依存

著者
石川 稜威男 菅ノ又 伸治 雨宮 達之 秋津 哲也 斉藤 幸典
出版者
日本真空協会
雑誌
真空 (ISSN:05598516)
巻号頁・発行日
vol.35, no.3, pp.356-359, 1992-03-20 (Released:2009-10-20)
参考文献数
15