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OA
低気圧SF6RF放電の周波数依存
著者
石川 稜威男
菅ノ又 伸治
雨宮 達之
秋津 哲也
斉藤 幸典
出版者
日本真空協会
雑誌
真空
(
ISSN:05598516
)
巻号頁・発行日
vol.35, no.3, pp.356-359, 1992-03-20 (Released:2009-10-20)
参考文献数
15
言及状況
変動(ピーク前後)
変動(月別)
分布
外部データベース (DOI)
0
Mendeley
DOI Chronograph
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収集済み URL リスト
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj1958/35/3/35_3_356/_pdf
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