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1 0 0 0 OA シリコンの自然酸化膜

著者
服部 健雄
出版者
一般社団法人 表面技術協会
雑誌
表面技術 (ISSN:09151869)
巻号頁・発行日
vol.45, no.1, pp.12-16, 1994-01-01 (Released:2009-10-30)
参考文献数
29