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文献一覧: 松井 崇行 (著者)
2件
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ソフトリソグラフィ法を用いた高分子接合型光導波路作製
著者
松井崇行
雑誌
高分子学会予稿集, 2003
巻号頁・発行日
vol.52, no.12, 2003
被引用文献数
2
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OA
ソフトリソグラフィ法を用いた高分子接合型光導波路作製
著者
松井 崇行
小松 京嗣
戒能 俊邦
出版者
公益社団法人 高分子学会
雑誌
高分子学会予稿集 第52回高分子討論会
巻号頁・発行日
pp.628, 2003 (Released:2007-12-04)
透明性に優れるコアと光機能性コアを結合した接合型光導波路の作製に際し、煩雑な工程を含んだ反応性イオンエッチングプロセスに代わる、光架橋性高分子とSoftLithography法を組み合わせたプロセスを検討した。